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三轴直驱定位平台

重复定位精度 ±0.3μm

速度稳定性 ±1‰@300mm/s

高动态响应特性

低静态颤抖

快速整定

支持非标定制

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13655559489 （孙经理）

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| 产品详情

技术指标	数据
有效行程	X轴:350mm Y轴:350mm
最大速度	X轴:1000mm/s Y轴:1000mm/s
速度稳定性	X轴:±1‰@300mm/s Y轴:1‰@300mm/s
最大加速度	X轴:1G Y轴:1G
重复定位精度	X轴:±0.3μm Y轴:±0.3μm θ轴:±1.5arcsec
绝对定位精度	X轴:±0.5μm Y轴:±0.5μm θ轴:±10arcsec
整准时间	X轴:50ms@±1μm/1G Y轴:60ms@±1μm/1G
直线度	X轴:±2μm Y轴:±2μm
行走平面度	X轴:±3μm Y轴:±3μm
XY正交度	±3μm
最大负载	10kg
光栅尺区分率	0.1μm

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